Horno de tubo
Horno tubular compacto de alto vacío 1200C con sistema de bomba turbo integrado y zona de calentamiento de 8 pulgadas
Número de artículo: TU-41
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Descripción general del producto
Este sistema de procesamiento térmico de alto rendimiento representa una solución completa e integrada para investigadores e ingenieros industriales que requieren un control preciso de la temperatura en condiciones de alto vacío. Diseñado como una unidad compacta y apta para banco de trabajo, el equipo combina un horno tubular de alta temperatura con un sofisticado sistema de vacío turbomolecular. Esta integración permite a los usuarios alcanzar niveles de vacío tan profundos como 10^-5 torr, proporcionando un entorno prístino para materiales sensibles al oxígeno, investigación de películas delgadas y procesos avanzados de deposición química de vapor (CVD). Al eliminar la complejidad de los conjuntos de bombas externos, esta unidad proporciona un flujo de trabajo optimizado para científicos de materiales tanto en el ámbito académico como en la industria.
Utilizado principalmente en I+D de ciencia de materiales y entornos de laboratorio de semiconductores, el equipo sirve como piedra angular para sintetizar nuevos nanomateriales, realizar reacciones en estado sólido y sinterizar componentes delicados. La única zona de calentamiento está optimizada para la uniformidad, garantizando que las muestras colocadas dentro del tubo de cuarzo de 60 mm experimenten una distribución consistente de energía térmica. Ya sea que se requiera recocido de alta pureza o tratamientos térmicos complejos controlados por atmósfera, este sistema ofrece la estabilidad y reproducibilidad necesarias para los estándares industriales modernos.
La fiabilidad está diseñada en cada componente de esta unidad de procesamiento térmico. Desde la estructura de acero de doble capa que permanece fría al tacto incluso a máxima operación, hasta el aislamiento de fibra de alúmina recubierto para una vida útil prolongada, cada detalle se centra en la durabilidad. Este equipo está construido para soportar las exigentes demandas de ciclos de investigación industrial 24/7, manteniendo la integridad del alto vacío y la precisión de temperatura durante miles de horas de funcionamiento. Este enfoque en la excelencia de la ingeniería garantiza que los equipos técnicos puedan concentrarse en sus resultados y no en su equipo.
Características principales
- Sistema integrado de bomba turbo de alto vacío: Este equipo cuenta con un sistema de bomba turbomolecular integrado, de ingeniería alemana, que alcanza niveles de vacío final de hasta 1 x 10^-5 torr, garantizando un entorno ultralimpio para procesos térmicos sensibles.
- Control de temperatura PID de precisión: Un avanzado controlador de microprocesador utiliza la lógica Proporcional-Integral-Derivativa y una función de autoajuste para mantener una precisión de ±1°C, permitiendo 30 segmentos programables de rampa, mantenimiento y enfriamiento.
- Protección térmica avanzada de doble capa: El horno está construido con una carcasa de acero de doble capa y ventiladores de enfriamiento integrados, manteniendo la temperatura de la superficie exterior por debajo de 70°C incluso cuando la cámara interna alcanza 1200°C.
- Aislamiento fibroso de alúmina con recubrimiento de alta durabilidad: La cámara de calentamiento está revestida con aislamiento térmico fibroso de alúmina de alta eficiencia, que además recibe un recubrimiento de alúmina para evitar la degradación y prolongar la vida útil de los materiales refractarios.
- Elementos calefactores de precisión: La unidad utiliza elementos de aleación Fe-Cr-Al dopados con molibdeno, seleccionados específicamente por su estabilidad a altas temperaturas y resistencia a la oxidación, garantizando un rendimiento de calentamiento constante en la zona de 8 pulgadas.
- Sellado al vacío hermético y bridas: Equipada con un conjunto completo de bridas de vacío de 60 mm de D.E. con conectores de espiga de 1/4", válvulas de aguja y un pasamuros de termopar de conexión rápida, el sistema garantiza una gestión de gas sin esfuerzo y un sellado de vacío fiable.
- Protocolos de seguridad integrales: Las protecciones integradas, que incluyen protección contra sobretemperatura y protección ante fallo del termopar, desconectan automáticamente los elementos calefactores para evitar daños y garantizar la seguridad del operario durante funcionamiento sin supervisión.
- Capacidades mejoradas de gestión de datos: El controlador incluye un puerto de comunicación DB9 para PC, compatible con software opcional basado en LabVIEW (MTS01) que permite la edición remota de perfiles, el registro de datos y la gestión en tiempo real de recetas de tratamiento térmico.
- Rendimiento térmico modular: El diseño intercambiable del módulo de calentamiento permite un mantenimiento flexible y posibles mejoras futuras, ofreciendo una vía rentable para la operación a largo plazo en laboratorio.
- Bloques térmicos optimizados: El sistema incluye un par de bloques térmicos cerámicos fibrosos diseñados para limitar la disipación de calor desde el área de calentamiento activa, protegiendo las bridas de enfriamiento y mejorando la eficiencia energética general.
Aplicaciones
| Aplicación | Descripción | Beneficio clave |
|---|---|---|
| CVD / PECVD | Deposición química de vapor de películas delgadas y recubrimientos especializados sobre sustratos. | La integridad de alto vacío garantiza la pureza del depósito y la calidad cristalina. |
| I+D de semiconductores | Procesamiento de obleas de silicio, semiconductores compuestos y componentes electrónicos. | Procesamiento térmico rápido con control preciso de la concentración de oxígeno. |
| Síntesis de nanotubos de carbono | Crecimiento a alta temperatura de CNT y otros nanomateriales basados en carbono. | La excelente uniformidad de temperatura produce un diámetro de fibra y rendimientos consistentes. |
| Recocido al vacío | Tratamiento térmico de alivio de tensiones para metales y cerámicas en un entorno libre de oxígeno. | Evita la oxidación superficial y la formación de cascarilla, manteniendo la integridad superficial del material. |
| Deposición de películas delgadas | Evaporación o procesamiento térmico de películas delgadas funcionales en alto vacío. | La bomba turbo integrada proporciona el entorno de baja presión necesario sin contaminación. |
| Síntesis en estado sólido | Mezcla y reacción de precursores sólidos a altas temperaturas para formar nuevos compuestos. | El control programable de 30 segmentos permite ciclos de reacción complejos y multietapa. |
| Investigación de materiales para baterías | Tratamiento térmico de materiales de cátodo y ánodo para baterías de alta densidad energética. | El entorno controlado evita reacciones químicas no deseadas durante la síntesis. |
| Sinterización de cerámicas | Sinterización de alta pureza de óxidos cerámicos avanzados y no óxidos. | El control PID de precisión evita el choque térmico y promueve un crecimiento uniforme del grano. |
Especificaciones técnicas
| Grupo de parámetros | Característica | Valor para TU-41 |
|---|---|---|
| Alimentación eléctrica | Opciones de voltaje | 120VAC (20A) o 208 - 240VAC (10A) |
| Frecuencia | 50/60 Hz, monofásico | |
| Consumo total de energía | 1.2 KW | |
| Rendimiento de temperatura | Temperatura máxima | ≤1200°C (< 1 hora de duración) |
| Temperatura de trabajo continua | ≤1100°C | |
| Temperatura de la superficie en vacío | ≤1000°C (bajo alto vacío) | |
| Tasa máxima de calentamiento | ≤ 20 °C/min | |
| Especificaciones de la zona de calentamiento | Longitud de la zona de calentamiento | 8" (200mm), zona única |
| Zona de temperatura constante | 2.3" (60mm) (±2°C) @ 600 °C | |
| Elementos calefactores | Aleación Fe-Cr-Al dopada con Mo | |
| Sistema de vacío | Tipo de bomba integrada | Sistema de bomba turbomolecular (fabricado en Alemania) |
| Nivel de vacío final | 10^-6 torr (tubo) / 7.5 x 10^-5 hPa (unidad de bomba) | |
| Accesorio de conexión | Abrazadera KF40 en la brida derecha | |
| Monitoreo | Vacuómetro mecánico en la brida | |
| Tubo y cámara | Material del tubo | Cuarzo de alta pureza |
| Dimensiones del tubo | 60mm OD x 55mm ID x 600mm L | |
| Material de aislamiento | Fibra de alúmina con recubrimiento protector | |
| Sistema de control | Tipo de controlador | PID digital con programación de 30 segmentos |
| Precisión | ± 1 °C | |
| Termopar | Tipo K (TCK8S3B) | |
| Comunicación de datos | Puerto DB9 para PC (software MTS01 opcional) | |
| Hardware y bridas | Entradas/salidas de gas | Conectores de espiga de 1/4" con válvula de aguja |
| Sellado | Juntas tóricas de alta temperatura en conjunto de bridas de 60 mm OD | |
| Pasamuros | Conexión rápida de 1/4" para termopar | |
| Cumplimiento | Certificación | Certificado CE (NRTL/CSA disponible bajo solicitud) |
Por qué elegir TU-41
- Diseño integrado superior: A diferencia de los sistemas que requieren bombas externas separadas, esta unidad integra los sistemas de vacío y térmico en una sola huella de alta eficiencia, ahorrando espacio de laboratorio y reduciendo la complejidad de instalación.
- Rendimiento de vacío de grado industrial: El uso de una bomba turbomolecular fabricada en Alemania permite que este sistema alcance niveles de vacío 100 veces más profundos que las bombas mecánicas estándar, lo que lo hace adecuado para la investigación de materiales de alta pureza.
- Fiabilidad diseñada con precisión: Desde los elementos calefactores dopados con Mo hasta el aislamiento recubierto de alúmina líquida, cada componente se selecciona para ofrecer el máximo tiempo de funcionamiento y un rendimiento constante en ciclos exigentes de I+D.
- Perfil térmico flexible: El controlador PID de 30 segmentos proporciona la granularidad necesaria para la síntesis compleja de materiales, garantizando que las velocidades de calentamiento y enfriamiento se gestionen con precisión para evitar fallos del material.
- Soporte y calidad integrales: Como producto certificado CE con actualizaciones NRTL disponibles, este equipo cumple con los más altos estándares internacionales de seguridad y excelencia operativa, respaldado por el soporte técnico experto de THERMUNITS.
Nuestro equipo de ingeniería está listo para ayudarle con una configuración personalizada o una cotización formal para este sistema de vacío de alto rendimiento; póngase en contacto con nosotros hoy mismo para discutir sus requisitos específicos de procesamiento térmico.
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