Horno de tubo
Horno de procesamiento térmico rápido (RTP) de 1100 °C con atmósfera controlada y carga inferior para recocido de obleas e investigación de catálisis
Número de artículo: TU-C30
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Descripción del producto
Este sistema de procesamiento térmico de alto rendimiento está diseñado para aplicaciones de Procesamiento Térmico Rápido (RTP) que requieren gradientes de temperatura extremos y una gestión precisa de la atmósfera. Al utilizar tecnología de infrarrojos de onda corta y una configuración automatizada de carga inferior, la unidad proporciona una plataforma versátil para la investigación avanzada de materiales, especialmente donde los ciclos rápidos de calentamiento y enfriamiento son críticos para mantener la integridad de la microestructura y lograr transformaciones de fase únicas. El diseño de carga inferior garantiza un manejo sencillo de las muestras y una perturbación térmica mínima en la zona de calentamiento durante los ciclos de carga y descarga.
Las industrias objetivo incluyen la fabricación de semiconductores, la investigación en ciencia de materiales y el desarrollo de catalizadores. El equipo destaca en entornos donde el alto rendimiento es esencial, ofreciendo una integración perfecta con sistemas de manipulación robótica para un funcionamiento autónomo. Esto garantiza que los perfiles térmicos complejos se ejecuten con una precisión repetible, reduciendo el error humano y aumentando la productividad del laboratorio. Ya sea que se utilice para el recocido de obleas de silicio o la síntesis de catalizadores avanzados, el sistema proporciona la flexibilidad térmica necesaria para la innovación de vanguardia.
Construido con componentes de grado industrial y una arquitectura de refrigeración de doble capa, este horno garantiza la estabilidad bajo ciclos de trabajo exigentes. Su diseño robusto se combina con un sofisticado control por software, proporcionando la fiabilidad necesaria para procesos industriales sensibles y proyectos de I+D de alto riesgo. La combinación de aislamiento de fibra de alúmina de alta pureza y un eficiente sistema de refrigeración por aire garantiza que el equipo siga siendo un activo fiable en cualquier laboratorio o entorno de producción piloto.
Características principales
- Calentamiento por infrarrojos ultrarrápido: Doce lámparas de infrarrojos de onda corta proporcionan velocidades de calentamiento rápidas de hasta 50 °C/s, lo que permite un control preciso de la cinética térmica durante los procesos de recocido rápido y minimiza la difusión no deseada.
- Mecanismo de carga inferior automatizado: La etapa de muestra motorizada facilita una carga y descarga suave y sin vibraciones, asegurando la estabilidad de la muestra y permitiendo una integración sin esfuerzo con automatización externa y brazos robóticos.
- Control de atmósfera avanzado: Los controladores de flujo másico integrados y los medidores de vacío de alta precisión permiten una gestión estable de la micro-presión positiva (103,000–120,000 Pa) y secuencias complejas de purga de gas para la sinterización en atmósfera protectora.
- Regulación de temperatura PID de precisión: Un controlador programable inteligente de 50 segmentos mantiene la precisión de la temperatura dentro de ±1 °C, con actualizaciones opcionales a ±0.1 °C para requisitos de laboratorio de ultra alta precisión.
- Compatibilidad robótica de alto rendimiento: El sistema está diseñado para comunicarse con brazos robóticos a través de protocolos de código abierto y TCP/IP, lo que admite un funcionamiento autónomo continuo de múltiples unidades para procesos a escala.
- Gestión térmica eficiente: Un diseño de cámara de doble capa con un sistema de refrigeración por aire activo mantiene la carcasa exterior segura al tacto mientras protege la electrónica interna durante las ejecuciones a alta temperatura.
- Adquisición de datos integral: El software dedicado registra y muestra datos de presión, temperatura y flujo de gas en tiempo real, garantizando una trazabilidad completa y el registro de datos para el control de calidad y la documentación de investigación.
- Sellado de grado industrial: El sistema de bridas de acero inoxidable refrigerado por agua preserva la integridad del vacío y la pureza de la atmósfera, garantizando resultados consistentes incluso cuando se opera a la temperatura máxima de 1100 °C.
- Etapa de muestra versátil: Con un tubo de cuarzo de alta pureza y una etapa de muestra personalizable, el equipo admite varios tamaños de muestra, incluidas obleas de hasta 6 pulgadas para diversas necesidades de investigación.
Aplicaciones
| Aplicación | Descripción | Beneficio clave |
|---|---|---|
| Recocido de obleas semiconductoras | Calentamiento rápido de obleas de silicio o semiconductores compuestos de hasta 6" para activar dopantes o reparar daños en el cristal. | Presupuesto térmico mínimo y restauración precisa de la red cristalina. |
| Catálisis de átomo único | Tratamiento a alta temperatura de materiales precursores para sintetizar y estabilizar catalizadores de un solo átomo en varios sustratos. | Uniformidad excepcional y control sobre las transformaciones a escala atómica. |
| Sinterización de alto rendimiento | Uso de brazos robóticos para procesar múltiples muestras en rápida sucesión para el cribado de bibliotecas de materiales. | Tiempos de ciclo significativamente reducidos y mayor velocidad de investigación. |
| Cristalización de películas delgadas | Procesamiento térmico rápido de películas delgadas funcionales para mejorar las propiedades eléctricas y ópticas. | Crecimiento de grano controlado y calidad de película superior. |
| Tratamiento térmico al vacío | Procesamiento de materiales sensibles bajo niveles de vacío controlados (hasta 10⁻⁴ Torr) para evitar la oxidación. | Entorno de alta pureza para materiales sensibles al oxígeno. |
| Evolución de fase de materiales | Estudio de la transformación rápida de materiales bajo cambios extremos de temperatura. | Tasas de calentamiento y enfriamiento altamente repetibles para estudios cinéticos. |
| Producción piloto autónoma | Integración en líneas automatizadas para la producción de componentes electrónicos especializados. | Reducción de costes laborales y mejora de la consistencia del proceso. |
Especificaciones técnicas
| Característica | Detalles de la especificación (TU-C30) |
|---|---|
| Identificador de modelo | TU-C30 |
| Fuente de alimentación | Trifásica CA 208V, 50/60Hz |
| Potencia máxima | 18 kW |
| Temperatura máxima de funcionamiento | 1100 °C (≤ 30 minutos) |
| Temperatura de funcionamiento a largo plazo | 1000 °C |
| Elemento calefactor | 12 lámparas infrarrojas de onda corta, 1.5 kW por lámpara |
| Dimensiones de la zona de calentamiento | Φ210mm × 100mm |
| Velocidad de calentamiento (RT a 900 °C) | Recomendado: 10 °C/s; Máximo: 50 °C/s |
| Velocidad de enfriamiento (sellado) | 800 °C a 350 °C: 55 °C/min; 350 °C a 200 °C: 5 °C/min |
| Velocidad de enfriamiento (cámara abierta) | 800 °C a 350 °C: 200 °C/min; 350 °C a 50 °C: 35 °C/min |
| Control de temperatura | Control automático PID, programable en 50 segmentos |
| Precisión de temperatura | ±1 °C (Actualización opcional Eurotherm: ±0.1 °C) |
| Tipo de termopar | Tipo K |
| Integridad del vacío | 10⁻² Torr (bomba mecánica) a 10⁻⁴ Torr (bomba molecular) |
| Material de la cámara | Aislamiento de fibra de alúmina de alta pureza |
| Material del tubo | Tubo de cuarzo de alta pureza de Φ200mm |
| Etapa de muestra | Φ105mm con hueco de 76×58mm (personalizable) |
| Controlador de flujo másico (MFC) | Rango: 0-5000 sccm |
| Control de atmósfera | Micro-presión positiva (103,000–120,000 Pa) |
| Interfaz y datos | Comunicación PC DB9, TCP/IP, Modbus, inalámbrico |
| Capacidades del software | Control remoto de vacío, flujo de gas y ciclos térmicos; soporte para múltiples unidades |
| Sistema robótico opcional | Carga de 5 kg, alcance de 1096 mm, repetibilidad de ±0.02 mm |
| Enfriador de agua (opcional) | Capacidad de refrigeración de 51880 BTU/h; alimentación trifásica |
¿Por qué elegir el TU-C30?
- Rendimiento térmico inigualable: La combinación de calentamiento por infrarrojos de onda corta de 18 kW y control PID avanzado permite que el equipo alcance velocidades de calentamiento que superan a los hornos de resistencia tradicionales en un orden de magnitud, lo que lo hace ideal para la ciencia de materiales moderna.
- Diseñado para la automatización: Diseñado específicamente para entornos de alto rendimiento, este sistema es uno de los pocos en su clase que ofrece soporte nativo para la integración de brazos robóticos y control de PC de múltiples unidades, lo que reduce drásticamente la intervención manual.
- Calidad de construcción superior: Desde las bridas de acero inoxidable refrigeradas por agua hasta los componentes internos de cuarzo de alta pureza, cada aspecto de esta unidad está diseñado para una durabilidad a largo plazo y la preservación de entornos de procesamiento de alta pureza.
- Trazabilidad del proceso: Nuestra suite de software integral proporciona registros digitales completos de cada ciclo de calentamiento, cambio de presión y ajuste de flujo de gas, satisfaciendo los requisitos más estrictos para el aseguramiento de la calidad industrial y la verificación de la investigación.
- Personalización flexible: Ya sea que necesite niveles de vacío específicos, etapas de muestra especializadas o configuraciones de manejo de gas personalizadas, nuestro equipo de ingeniería puede adaptar el sistema para cumplir con sus requisitos técnicos exactos.
Póngase en contacto con nuestro equipo de ventas técnicas hoy mismo para obtener un presupuesto completo o para discutir cómo podemos personalizar este sistema de procesamiento térmico rápido para sus necesidades específicas de investigación y producción.
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