Horno RTP
Horno de tubo deslizante de alta temperatura de 1200 °C y 5 pulgadas para procesamiento térmico rápido (RTP) y recocido de obleas
Número de artículo: TU-KT09
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Descripción del producto
Este sistema de procesamiento térmico de alto rendimiento está diseñado para satisfacer las rigurosas demandas de la ciencia de materiales moderna y la investigación de semiconductores. Al utilizar un sofisticado mecanismo deslizante, el equipo permite ciclos rápidos de calentamiento y enfriamiento que son inalcanzables en hornos de tubo estacionarios. Esta capacidad es esencial para los investigadores que realizan Procesamiento Térmico Rápido (RTP), donde el control preciso sobre la cinética térmica determina la estructura cristalina y las propiedades eléctricas de la muestra. El valor fundamental de la unidad reside en su capacidad para trasladar muestras entre zonas de temperatura de forma instantánea, proporcionando una plataforma versátil para la experimentación de alto rendimiento y el desarrollo avanzado de películas delgadas.
Diseñado para ofrecer versatilidad y precisión, este sistema es un pilar para los laboratorios especializados en recocido de obleas de semiconductores, deposición química de vapor (CVD) y estudios de transformación de fases metalúrgicas. La integración de un tubo de cuarzo de gran diámetro permite el procesamiento de obleas de hasta 4 pulgadas de diámetro, lo que lo convierte en una opción ideal tanto para la investigación académica fundamental como para la I+D industrial. La construcción robusta garantiza que la unidad pueda soportar ciclos térmicos rápidos repetidos sin comprometer la integridad estructural ni la uniformidad de la temperatura, proporcionando a los investigadores la consistencia necesaria para obtener resultados reproducibles en entornos industriales exigentes.
La fiabilidad es el núcleo del diseño de este equipo. Con una carcasa de acero de doble capa y tecnología de refrigeración por aire integrada, el sistema mantiene una temperatura exterior segura incluso durante un funcionamiento prolongado a 1200 °C. La unidad de control separada permite el funcionamiento remoto, protegiendo los componentes electrónicos sensibles del calor y proporcionando un entorno de trabajo más seguro para el personal del laboratorio. Ya sea que se utilice para el recocido de metales reactivos o la sinterización de cerámicas de alta densidad, este sistema ofrece el rendimiento, la durabilidad y las características de seguridad necesarias para procesos de tratamiento térmico industriales y de laboratorio de alto riesgo.
Características principales
- Gestión cinética térmica rápida: El motor eléctrico deslizante integrado permite que el horno se mueva a través del tubo de cuarzo a velocidades variables, permitiendo tasas de calentamiento de hasta 2 °C/s y tasas de enfriamiento/temple de hasta 4 °C/s al alejar la zona calentada de la muestra.
- Sistema avanzado de control PID dual: Equipado con dos controladores automáticos PID independientes que cuentan con 30 segmentos programables, la unidad proporciona un control meticuloso sobre las tasas de calentamiento, los tiempos de permanencia y las curvas de enfriamiento con una precisión de ±1 °C.
- Entorno de procesamiento de alta capacidad: El tubo de cuarzo de alta pureza de 5 pulgadas admite muestras y obleas de hasta 100 mm (4 pulgadas) de diámetro, soportadas por un bote de cuarzo especializado para un posicionamiento estable del material durante el tránsito.
- Arquitectura robusta de vacío y atmósfera: Las bridas de vacío de acero inoxidable con juntas tóricas de silicona dobles y medidores digitales facilitan entornos de alto vacío de hasta 10^-5 torr, lo que permite procesos que requieren atmósferas inertes, reductoras o de vacío.
- Aislamiento térmico y seguridad superiores: Una carcasa de acero de doble capa con refrigeración por ventilador activo garantiza que la cubierta externa permanezca por debajo de los 60 °C, mientras que los sistemas integrados de protección contra sobrecalentamiento y rotura de termopares protegen tanto al equipo como al operador.
- Elementos calefactores de precisión: Los elementos calefactores de resistencia están colocados estratégicamente para proporcionar una zona de calentamiento de 300 mm con una zona de temperatura constante de 100 mm, asegurando una distribución térmica uniforme en toda la pieza de trabajo.
- Conectividad digital y monitoreo remoto: Un módulo de control MTS-02 incluido y un puerto RS485 permiten una operación completa basada en PC, lo que permite a los investigadores registrar datos, monitorear ciclos en tiempo real y automatizar perfiles térmicos complejos.
- Rieles deslizantes de grado industrial: La unidad se desplaza sobre rieles de acero cromado de alta resistencia, lo que garantiza un movimiento suave y sin vibraciones que protege las muestras delicadas durante las fases de transición rápida.
Aplicaciones
| Aplicación | Descripción | Beneficio clave |
|---|---|---|
| Recocido de semiconductores | Procesamiento térmico rápido de obleas de silicio o semiconductores compuestos de hasta 4 pulgadas. | Minimiza la difusión de dopantes mientras activa eficazmente los implantes iónicos. |
| Crecimiento de grafeno y CNT | Síntesis a alta temperatura de nanotubos de carbono y grafeno mediante procesos CVD. | El control preciso del enfriamiento permite una mejor gestión de las capas de deposición de carbono. |
| Metalurgia reactiva | Tratamiento térmico de titanio, circonio o tantalio bajo alto vacío o gas inerte. | Evita la oxidación y la contaminación mientras logra transformaciones de fase específicas. |
| Deposición de películas delgadas | Recocido de películas delgadas para mejorar la cristalinidad y la conductividad eléctrica. | Los altos gradientes térmicos permiten la creación de fases metaestables únicas. |
| Sinterización cerámica | Sinterización de polvos cerámicos avanzados a temperaturas de hasta 1200 °C. | El calentamiento uniforme de 360 grados garantiza resultados de alta densidad con una deformación mínima. |
| Estudios de temple | Enfriamiento rápido de aleaciones metálicas para observar cambios estructurales a temperatura ambiente. | El mecanismo deslizante automatizado proporciona tasas de temple consistentes y repetibles. |
| Transformación de fase | Investigación del comportamiento de los materiales a medida que pasan por puntos críticos de temperatura. | El registro de datos de alta velocidad y la rampa de temperatura precisa facilitan un análisis detallado. |
Especificaciones técnicas
| Grupo de parámetros | Detalle de la especificación | Valor para TU-KT09 |
|---|---|---|
| Número de modelo | Identificador del producto | TU-KT09 |
| Dimensiones principales | Tamaño del tubo de cuarzo | 130 mm D.E. x 120 mm D.I. x 1100 mm L (5") |
| Zona de calentamiento | 300 mm total / 100 mm zona constante | |
| Tamaño máx. de oblea | 4 pulgadas (100 mm) de diámetro | |
| Rendimiento | Temperatura máx. | 1200 °C (< 0.5 horas) |
| Temperatura de trabajo continua | 1100 °C | |
| Precisión de temperatura | +/- 1 ºC | |
| Tasa máx. de calentamiento | 2 ºC / segundo (vía deslizamiento) | |
| Tasa máx. de enfriamiento | 4 ºC / segundo (vía deslizamiento) | |
| Control de movimiento | Longitud del riel deslizante | 1200 mm (acero cromado) |
| Rango de deslizamiento | 450 mm | |
| Accionamiento deslizante | Motor CC controlado mediante programador de temperatura (opcional) | |
| Electrónica | Requisitos de energía | CA 208-240V monofásico, 50/60 Hz |
| Potencia nominal | 3 KW | |
| Tipo de controlador | PID dual con 30 segmentos programables | |
| Comunicaciones | Puerto RS485 / Módulo de control de PC MTS-02 | |
| Sistema de vacío | Material de la brida | Acero inoxidable con juntas tóricas dobles |
| Nivel de vacío (bomba mecánica) | 10^-2 torr | |
| Nivel de vacío (molecular) | 10^-5 torr | |
| Puertos de gas | Entrada Φ6.35, salida KF25, válvulas de cierre dobles | |
| Seguridad y cumplimiento | Temperatura de la carcasa | ≤ 60 °C (carcasa doble refrigerada por aire) |
| Protección | Corte automático por sobrecalentamiento y fallo de termopar | |
| Certificaciones | Certificación CE (NRTL/UL disponible bajo pedido) |
¿Por qué elegir este horno de tubo deslizante?
- Agilidad térmica inigualable: A diferencia de los hornos estándar, esta unidad ofrece tasas de calentamiento y enfriamiento líderes en la industria a través de su mecanismo deslizante de ingeniería de precisión, lo que reduce significativamente los tiempos de ciclo y permite propiedades de material únicas.
- Precisión de grado de investigación: Con controladores PID duales y adquisición de datos basada en PC, los investigadores pueden mantener el control total sobre cada variable térmica, asegurando que las condiciones experimentales sean exactamente repetibles en cientos de ejecuciones.
- Calidad de construcción industrial: Desde los rieles deslizantes cromados hasta la carcasa de acero de doble capa, cada componente se selecciona por su capacidad para funcionar en entornos de ciclo de trabajo alto sin degradación.
- Integración de vacío integral: La inclusión de bridas de acero inoxidable de alta calidad y medidores de vacío digitales garantiza que el sistema esté listo para procesos sensibles controlados por atmósfera desde el primer momento.
- Adaptable para el futuro: Con accionamientos deslizantes automáticos opcionales y configuraciones de software personalizadas, este equipo está diseñado para evolucionar junto con los requisitos de su investigación, lo que representa una inversión sólida a largo plazo.
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